《日中中日半导体制造技术用语词典》为“日中中日半导体制造技术用语词典”，是提供给从事研究和开发半导体技术、阅读日语半导体制造技术类书籍和杂志、学习专业知识、从事该类科技文献和技术资料翻译工作者作为专业用语参考的工具书。本词典共收录了大约3，500条有关半导体制造方面的专业词汇，具有从日文或中文词条中查阅解释的双向功能。 　　收词范围 　　本词典主要收集了有关半导体制造技术方面的用语，包括半导体设计、材料、硅氧化、光刻刻蚀、扩散和离子注入、掺杂、晶体生长、曝光、光刻胶、涂胶显影、气相沉积、晶片清洗、切割、研磨、芯片热处理、溅射、键合、封装、印刷、光学、机械等工艺及外观检验、性能检验等基本专业词汇。 　　编排方法 　　1.“日中半导体制造技术用语”部分按照日语50音图顺序的“あ、か、さ、た、な、は、ま、や、ら、わ行”规则进行排序，并且按照50音图的其他规则顺序可继续查阅单词。日文词条的中文解释可从该部分中查阅。 　　2.“中日半导体制造技术用语”部分根据中文的汉语拼音顺序进行排序。从中文词条查阅日文解释时，可从该部分中查阅。 　　3.英文字母开头的词条和英文缩写词条可从“英文字母开头的日中半导体制造技术用语”部分中查阅。该部分根据英文字母顺序排例。 　　4.日文专业用语是英文外来语的，同时用英文并列标注，以便使用者可以参考英文解释。 　　5.在日语片假名单词中，会有一些单词标注长音或不标注长音，这只是习惯上的不同，两者均为正确。例如： 　　①センサー=センサ ②メーカ=メーカー 　　6.在部分专业用语中，中文解释上也会有所差异，例如本词典中“エッチング”解释为“刻蚀”的，但该单词也有解释为“刻蚀”的，这两种解释均为正确。本词典统一解释为“刻蚀”。 　　7.某个单词有若干个中文解释时，本词典用顿号“、”将几个解释隔开，查阅者可以根据文章内容选择合适的解释。