《微机电系统和微结构及其在航天中的应用》共16章，主要内容包括：概论，微机电系统技术在航天任务中的应用前景，MEMS加工技术，空间环境因素对MEMS技术的影响，空间辐射影响和微机电系统，MEMS技术在空间系统的应用，微加工技术在科学仪器方面的应用，微机电系统在航天器通信中的应用，航天器热控制中的微系统，航天器制导、导航和控制中的微系统，微推进技术，空间应用的MEMS封装技术，关键性空间应用的处理与污染控制考虑，MEMS应用的材料选择，基于空间的MEMS设计和应用的可靠性测试，航天微机电系统与微结构的保障方法等。
　　《微机电系统和微结构及其在航天中的应用》适合航天、航空和MEMS技术领域的设计师、工程师、管理者和高校院所的相关学科的科研人员、高年级本科生、研究生和相关科技人员阅读。