射频微机电系统技术是微机电系统的重要组成部分，《维纳制造的基础研究学术著作丛书：射频微机电系统的理论、设计、制备及应用》主要从理论、设计、加工、封装和应用等方面介绍射频微机电系统器件与系统，结合作者及其团队近年来在相关领域的研究成果，详细分析和阐述传输线、天线、可调电感、可变电容、开关、滤波器、移相器等核心器件的基本原理、主要类型、设计方法、加工技术、性能测试和典型应用等，为读者勾勒出射频微机电系统技术较为全面的技术基础、研究现状和发展趋势。
　　《维纳制造的基础研究学术著作丛书：射频微机电系统的理论、设计、制备及应用》可作为微米纳米技术领域高年级本科生、研究生和教师的参考用书，并可供相关的科技人员参考。