中国电子信息工程科技发展研究 集成电路芯片制造工艺专题 电子书下载 PDF下载
内容简介
在集成电路产业中，芯片制造技术是产业链中的核心环节之一。《中国电子信息工程科技发展研究 集成电路芯片制造工艺专题》尝试从芯片大生产制造的角度，介绍芯片制造关键单项工艺和工艺集成技术（与《中国电子信息工程科技发展研究：集成电路产业专题》衔接）。试图以产业发展主流工艺为导向，侧重原理和产业应用实际相结合，尽量避免冗长深奥的物理、化学公式和原理推导。定性地对芯片生产制造工艺中的关键单项工艺进行描述，并在介绍单项工艺后，解释具有复杂系统工程特点的工艺集成技术难点。重点介绍芯片制造工艺中存在的五个主要挑战和可能的解决途径。后讨论芯片制造工艺产业链生态链的依赖关系。
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