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内容简介
《微传感器与接口集成电路设计》系统介绍了微传感器及其接口集成电路的设计。首先,以热对流式加速度计、电容式加速度计、微机械陀螺仪、电容式麦克风、压电式超声换能器等常见微传感器为例,介绍了微传感器的基本工作原理以及国内外研究现状。然后,介绍了将传感物理量转换为电信号的读出电路,将所获得的电信号进行放大、去噪、滤波等处理的信号调理电路,将模拟信号转换成数字信号的模数转换电路,以及新型传感器的自供能技术和电路等。最后还介绍了微传感器及其接口集成电路的新型封装技术。
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