《MEMS技术及应用/机械工程前沿著作系列·先进制造科学与技术丛书》讨论的主题是微机电系统（MEMS）这一前沿交叉学科。作者通过对MEMS技术的主要方面：结构、材料、工艺、设计、测量进行系统论述，并随之对MEMS的典型应用进行分类介绍，为读者勾勒出当前微机电系统的发展全貌。作为对主体内容的补充和延伸，纳机电系统（NEMS）和石墨烯在《MEMS技术及应用/机械工程前沿著作系列·先进制造科学与技术丛书》的结尾部分被予以专门的讨论。为MEMS专业课程提供适用的本科和研究生教材是《MEMS技术及应用/机械工程前沿著作系列·先进制造科学与技术丛书》的出发点，为达此目的，《MEMS技术及应用/机械工程前沿著作系列·先进制造科学与技术丛书》在内容安排上注意基础理论知识和具体技术细节并重，力图体现作者对MEMS专业方向学生的培养理念和教学思路。