《集成电路制造工艺技术体系》从三个方面系统地论述集成电路的制造技术。首先是制造对象，对工艺结构及结构所对应的电子器件特性进行深入的分析与揭示。其次是生产制造本身，详细讨论集成电路各单步作用的本质性特征及各不同工艺技术在成套流程中的作用，讨论高端制造的组织、调度和管理，工艺流程的监控，工艺效果分析与诊断等内容。最后是支撑半导体制造的没备设施，该部分的论述比较简明，但是也从整体和系统的角度突出了制造设备的若干要素。　　《集成电路制造工艺技术体系》适合于生产线上的高级工艺技师或管理专家，有助于其从系统和宏观的角度把握动态和复杂的制造过程。尽管涉及微电子制造的高端技术环节，但是《集成电路制造工艺技术体系》的具体叙述并不艰深，多结合实例来进行，实用性较强。