本书系统介绍宇航MOSFET器件的单粒子效应机理和加固技术。全书共6章,主要内容包括空间辐射环境与基本辐射效应、宇航M0SFET器件的空间辐射效应及损伤模型、宇航M0SFET器件抗单粒子辐射加固技术、宇航M0SFET器件测试技术与辐照试验,并以一款宇航DM0S器件为实例,详述了抗单粒子加固样品的结构设计和制造工艺细节,最后介绍宇航MOSFET器件的应用及发展趋势。
本书是作者总结多年的工作实践经验和研究成果撰写而成,可供微电子相关专业师生,以及从事微电子器件工艺开发和抗辐射加固技术研究的工程人员阅读参考。