MEMS光纤声压传感器技术 - 电子书下载

内容简介

《MEMS光纤声压传感器技术》首先介绍MEMS光纤声压传感器的结构特征、发展历程和应用前景；其次根据MEMS光纤声压传感器的工作原理，分别从光学和力学两个角度进行详细的介绍与分析；然后从制作角度介绍传感器的膜片加工和结构封装；*后对传感器的性能进行详细的测试。

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