高温SiC MEMS传感器的热电特性 电子书下载 PDF下载
内容简介
《高温SiC MEMS传感器的热电特性》主要介绍了碳化硅(SiC)传感器在高温下热电特性的研究进展。《高温SiC MEMS传感器的热电特性》可分为三部分，共七章。第一部分从单层SiC和多层SiC的热阻效应、热电效应、热电子效应和热电容效应等物理效应方面来介绍SiC的热电特性；第二部分介绍了SiC的诸多重要特征以及SiC MEMS的制造流程，总结了SiC传感器、热流传感器和对流惯性传感器的*新进展；第三部分论述了SiC热电传感器的应用前景。
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