折射衍射微光学结构的单步光刻与湿法蚀刻原理与应用 - 电子书下载

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内容简介

　　《折射衍射微光学结构的单步光刻与湿法蚀刻原理与应用》主要针对可见光、红外和太赫兹等谱域的折射与衍射微光学结构，开展新的设计、工艺制作和测试评估方法的研究。重点论述了以折射和衍射微光学积分变换为基础，有效出射可见光、红外及太赫兹多谱图像与波前的基础理论和基本方法，建立了基于衍射相位精细构建在设计、仿真、工艺、测试与评估等方面的数据和方法体系。
　　《折射衍射微光学结构的单步光刻与湿法蚀刻原理与应用》适合从事微纳制造、微纳光学光电器件、光学图像信息处理等领域的科研人员阅读，也可作为高等院校师生的教学参考用书。

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