本书系统阐述了当代扫描电镜与显微分析的原理、技术及进展。全书共16章:前13章着重介绍扫描电镜;后3章介绍显微分析,包括能谱和电子背散射衍射技术。在扫描电镜的基础知识中,第1章到第10章介绍了成像、电镜结构、电子光学、信号的产生和接收、村度和成像假象的原理和技术等:第11章到第13章介绍扫描电镜的综合应用,介绍了高分、低电压成像和更具体的操作和制样建议,以指导操作和实践。
本书以实用和实践为目的,结合材料学科的特点,将理论和技术结合,同时突出近些年来出现和应用的新技术,如低加速电压、浸没式物镜、硅漂移探测器等。
作者既希望内容由浅入深,又希望论述深入浅出,力图呈现当代扫描电镜的概貌,让读者领会技术在原理上的实现,感悟原理在技术上的表达。
本书适合材料学科及相关研究领域的本科生、研究生、科研人员和测试人员参考和阅读。