超精密气浮定位工作台技术：气浮系统动力学与控制 电子书下载 PDF下载
内容简介
本书的主要包括超精密气浮支承技术和精密定位工作台电磁直接驱动的基本理论和技术；超精密气浮支承的建模、有限元分析方法及其数值计算的理论与方法；超精密气浮定位工作台的动力学建模及其动态特性分析；超精密定位工作台的定位运动分析及其控制方法研究。
本书可作为数字制造设备、精密加工设备、精密测量仪器、生物医药装备等行业科研技术人员的参考书，也可作为高等院校相关专业的研究生教材。
本书可作为数字制造设备、精密加工设备、精密测量仪器、生物医药装备等行业科研技术人员的参考书，也可作为高等院校相关专业的研究生教材。
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