光栅莫尔条纹纳米级细分技术 电子书下载 PDF下载
内容简介
光栅因其具有精度高、成本低等优势，在传统的数显数控行业得到了非常广泛的应用。随着现代工业的飞速发展，对大量程纳米级位移测量与控制的需求不断扩大，基于光栅的大量程纳米级测量与控制的研究得到迅速发展。《光栅莫尔条纹纳米级细分技术》以近年来的研究重点作为应用广泛的低线密度光栅传感器为研究对象，以实际应用工况为前提，以实现低成本的大量程纳米级位移测量为目标，利用现代信号处理理论研究新型的莫尔条纹细分方法和光栅栅距在线测量方法，详细阐述了所提出方法的原理及实现过程。在此基础上，进一步设计了新型光栅纳米测量装置，为实现产品化奠定了基础。
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