多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器 电子书下载 PDF下载
内容简介
本书对多晶硅纳米薄膜的压阻特性及其在压力传感器上的应用进行了研究。本书共分为五章，第一章主要介绍了多晶硅纳米薄膜及压力传感器的研究现状，第二章主要介绍了工艺条件对多晶硅纳米薄膜特性的影响，第三章主要介绍了多晶硅纳米薄膜的杨氏模量，第四章主要介绍了多晶硅纳米薄膜的压力传感器应用，第五章主要介绍了多晶硅纳米薄膜压力传感器的测试与分析。本书可以作为高等学校微电子技术和材料科学与工程等相关专业的参考书。
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