《纳米科学与技术：微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用》简述微纳加工的主要方法及在纳米材料与纳米器件研究中的应用，注重理论与实践的结合，包括光学曝光、电子束曝光、聚焦离子束加工、激光加工、纳米压印、刻蚀技术、薄膜技术、自组装加工，以及微纳加工在纳米材料与器件的电学、光学、磁学等研究领域的应用，重点介绍各种微纳加工方法的产生根源与新发展的趋势，在科学研究中的创新性应用与要注意的问题，以及在多学科领域中对探索科学发现的重要作用。
　　《纳米科学与技术：微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用》可作为高等学校物理、化学、电子、材料、生物等专业研究生和高年级本科生的参考教材，也可供从事纳米科学与技术等相关领域研究的科技工作者参考。