双质量线振动硅微机械陀螺仪 [Dual-mass Linear Vibration Silicon Based MEMS Gyroscope] 电子书下载 PDF下载

双质量线振动硅微机械陀螺仪 [Dual-mass Linear Vibration Silicon Based MEMS Gyroscope]
内容简介
  《双质量线振动硅微机械陀螺仪》介绍了广泛应用于国防工业领域中的双质量线振动硅微机械陀螺仪结构设计、加工、测控系统设计、测试等方面的内容,涵盖了几乎整个双质量线振动硅微机械陀螺仪的设计过程。全书共分为7章,其中:第1章为绪论,介绍了硅微机械陀螺仪的基本概念、特点及应用领域,国内外研究现状以及该书的研究目的及意义;第2章为硅微机械陀螺仪原理及结构,主要介绍哥氏效应、陀螺动力学方程、双质量线振动硅微机械陀螺仪全解耦结构设计及加工技术;第3章为双质量线振动硅微机械陀螺仪模型和驱动技术研究,介绍了陀螺结构中主要的噪声,建立了理想的陀螺结构机械系统模型,并研究了基于自激振荡技术的驱动闭环回路;第4章为双质量线振动硅微机械陀螺仪正交校正技术研究及优化,分析了正交误差的产生机理以及抑制的方法和途径;第5章为双质量线振动硅微机械陀螺仪检测闭环和频率调谐技术研究,提出了双质量陀螺检测模态传递函数,并设计了带有带宽拓展功能的闭环控制器,介绍了频率调谐方法;第6章为温度对硅微机械陀螺的影响及抑制方法,介绍了温度模型和温度控制、温度补偿技术;第7章为双质量线振动硅微机械陀螺仪测控电路设计及测试技术,系统介绍了陀螺测试方法。
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