先进功能材料丛书--先进纳米薄膜材料：制备方法及应用= Advanced Nano Deposi - 电子书下载

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内容简介

本书总结了纳米薄膜材料的国内外研究新进展，既详细地介绍了纳米薄膜材料的制备方法，又介绍了它们在电子器件领域的应用。系统阐述了薄膜及纳米结构的一系列制备技术，不仅包括溶胶凝胶法、MOCVD、电子束沉积、磁控溅射等传统技术，还包括近年来新发展起来的高分子辅助沉积法、3D打印、液相-电子束诱导沉积等技术。此外，本书还对纳米薄膜及其它纳米结构的一些典型应用做了介绍，并给出实例，包括磁性薄膜的应用、氧化物薄膜在燃料电池领域的应用、相变材料在存储器领域的应用和柔性薄膜器件等。
本书适合材料、微电子等相关专业的研究生、科技人员和教学人员使用。

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