《真空电子器件》对各类真空电子器件进行了全面的、基础性的介绍。部分应用领域已经被其他新技术所取代的一些真空电子器件，书中也对其目前应用情况及替代技术作了简单的介绍。
《真空电子器件》共分10章。第1章是真空电子器件基础，简单介绍了各种电子发射原理和相应的阴极，弱流电子光学基础知识；第2章是普通电子管，其中涉及到真空电子器件的一些基本概念；第3章至第5章讨论微波电子管，包括微波管基础知识、传统微波管和相对论新型微波管，这部分内容是《真空电子器件》的重点；第6章讨论电子束管，目前仍有部分电子束管发挥着重要作用，电子束的其他应用也十分广泛，这些内容在本章中作了相应介绍；第7 章是光电器件，主要介绍光电倍增管和像管的工作原理及应用情况；第8章是气体放电管，主要讨论气体放电的物理过程，因为这不仅是放电管，也是电光源和计数管、天线开关管的工作基础；第9章全面介绍了各种电光源；最后一章补充介绍了其他一些真空电子器件，如天线开关管、计数管、X射线管和真空开关管。
《真空电子器件》可以作为物理电子学、真空电子技术及电子科学与技术和其他相关专业的本科生的专业课教材，也可以作为在真空电子器件领域相关工厂、研究所工作的工程技术人员，以及应用这些器件的有关人员的参考书。