微米纳米技术丛书·MEMS与微系统系列：RF MEMS器件设计、加工和应用 电子书下载 PDF下载
内容简介
《微米纳米技术丛书·MEMS与微系统系列：RF MEMS器件设计、加工和应用》是第一部由国内作者编著的RF MEMS技术专业著作，在介绍RF MEMS理论基础上，侧重工程应用的设计方法及工艺技术，首次系统公布了南京电子器件研究所近十年来在RF MEMS领域的研究成果，包括获得国家技术专利的RFMEMS理论研究成果和工艺技术，代表我国RF MEMS技术的最新成果和最前沿技术。
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